logo

Данилина Тамара Ивановна, профессор

Образование: Окончила Томский политехнический институт по специальности «Электронные приборы»

Год защиты диссертации: Кандидатская диссертация - 1970г.

Ученая степень: Кандидат технических наук

Учёное звание: Доцент

Должность в университете: Профессор

Дисциплины, преподаваемые в университете: Вакуумная техника,  Технология тонкопленочных микросхем, Технология СБИС, Технология кремниевой наноэлектроники, Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Научные интересы: Ионно-плазменные методы осаждения тонких пленок, Моделирование технологических процессов и приборов наноэлектроники, Новые материалы со специальными свойствами

Написанные учебные пособия: Вакуумная техника, Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур, Технология тонкопленочных микросхем, Технология СБИС, Технология кремниевой наноэлектроники, Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники, Процессы микро- и нанотехнологии, Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС, Тонкие плёнки в микроэлектронике

Общее количество публикаций: Публикаций – 85, Центральная печать - 30, Патенты авторских свидетельств – 13

 

<<Назад к составу кафедры